Camtek AOI自动光学检测系统

以色列Camtek 公司提供自动化的解决方案,致力于加强三个行业的生产工艺和产量:半导体、印刷电路(PCB) 及高密度互连基质。
Camtek以包含智能成像、图像处理、样品制备和数字材料沉积等先进的技术平台为基础,利用专门的解决方案解决这些相互关联的行业的特殊需求。通过将其技术应用于行业特殊需求中,提供从微米级到纳米级的解决方案。
Camtek 为半导体行业提供各种各样的自动光学检测(AOI)及样品制备解决方案。
 
In-Fab 宏观检测                
 
后端检测及测量
 
LED检测
 
3D集成电路检测和测量
 
Falcon 800                                                     
Falcon 800系列高级测量和计量系统,不仅可以检查凸点晶片,还可以保证凸点符合其严格的尺寸公差要求。Falcon 800使用康代的三角测量系统(CTS),此系统使用可靠的三角测量原理,改善各种碰撞技术中的准确度和重复性。三角测量系统能力、光学性质和特殊的算法组合,可以满足甚至是最严格的金凸点应用要求。倒转芯片凸点,包括焊料、无铅和铜凸点,代表了广泛的形状和纹理,可以产生高动态光谱范围和变化的反射率。明暗视野照明组合使用高对比度和细节令这些物体成像,从而实现可靠的测量。
Falcon 800型号报告每个裸片的凸点共面性,确保可靠的包装倒转芯片。此外,它们测量每个凸点尺寸和精确位置,并检查是否存在表面缺陷。专用的检测引擎检查金凸点表面,看是否有坑和结节。
                       
 
 
系统亮点
设计用于高速测量和分析凸点晶片
集成三位和二维计量和检查技术到一个系统中
具有大量离线能力配方设置和缺陷审查能力,提高可用性
内置认证的校准和性能目标,确保测量的准确性
全面的成套SPC图和报告,支持裸片、晶片和批水平的凸点缺陷和尺寸分析
可选共焦点彩色传感器(CCS),提供针点级精确度,验证重要高尺寸或样品金凸点表面粗糙度或轮廓
快速,轻松且直观的设置 

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